真空的由來及制造真空的設備——高真空鍍膜機

更新時間：2011-02-23 點擊次數(shù)：2756

    科學技術飛躍的今天，光電技術的發(fā)展與應用已經(jīng)深入到各行各業(yè)，但是其制備的必須設備——真空鍍膜機器，由zui初的復雜化、手動化和只能被應用到軍事科研領域，發(fā)展到現(xiàn)在的簡單化，集成化，智能化，并且被廣泛推行及民用，價格也由之前的幾千萬一臺降到現(xiàn)在的幾百萬就可以買到。光電技術的發(fā)展必然以真空技術為基礎。

    鍍膜機是集多門學科一體的精密儀器，尤其在機電技術的應用方面，甚為廣泛，所以，機電一體化技術是真空技術的基礎。鍍膜設備的進步與發(fā)展也充分體現(xiàn)了機電技術的價值。

   “真空”一詞來自希臘語，原本是虛無的意思，人類對真空的研究和應用由來已久，對它并不陌生。到今天，真空技術作為一門應用科學，與人類的生活已經(jīng)密不可分。

   zui初人們?yōu)榱双@得真空，做了大量試驗，比如zui的“馬德堡半球試驗”，人類還發(fā)明了抽氣泵，用來對密閉的容器進行抽氣，以求獲得真空，隨著人類對真空技術的研究與不斷探索，同事也發(fā)明了測量真空的諸多方式，時至今日，真空技術已經(jīng)廣泛應用于工業(yè)，軍事，農(nóng)業(yè)，科研、半導體、顯示技術等，真空技術的發(fā)展與應用，大大促進了生產(chǎn)力的發(fā)展。

   現(xiàn)在，人類已經(jīng)能通過特制的容器獲得超高真空，同時，制作了各種儀表測量真空度，不僅如此，還制作各種設備，比如：真空鍍膜機器，就是應用zui廣泛的儀器。

   鍍膜機按照其應用領域的不同可以分為電子槍熱蒸發(fā)鍍膜機、磁控濺射鍍膜機、等離子鍍膜機、射頻鍍膜機等，但是他們的結構都一樣，以光學鍍膜機為例，主要有三大部分組成：真空主體——真空腔，輔助排氣系統(tǒng)（包括排氣系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)）、蒸發(fā)系統(tǒng)（包括坩堝及回轉控制系統(tǒng)、電子槍柜）、成膜控制系統(tǒng)。

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